投资界（ID：pedaily2012）11月11日消息，睿励科学仪器(上海)有限公司（以下简称「睿励科学仪器」）近日完成数亿元B轮融资，本轮融资由金石投资、招商致远领投，清控金信、河南资产、鼎青投资等资方跟投。
融资资金将用于高精度光学量检测系列产品的研发和市场化推广，丰富公司的产品矩阵，加速扩大生产并加强公司的市场拓展和品牌建设等。
「睿励科学仪器」成立于2005年，是一家专注于半导体前道工艺的量检测设备公司。公司总部位于上海浦东新区，其团队成员多来自全球前两位量检测设备企业和国内知名光学技术公司，有18年产品开发和市场应用经验。
「睿励科学仪器」专注于光学技术，在高精度光学量测和检测领域持续耕耘，提出自研算法模式、独立设计的光学架构，打破国际厂商垄断，已在先进制程工艺节点率先完成了介质膜厚量测产品和明场缺陷图形检测产品的交付和大规模量产。
「睿励科学仪器」部分产品图
金石投资表示，半导体设备是半导体产业的基石，中国半导体产业的蓬勃发展有赖于半导体设备的技术和产品突破，量检测是其中的关键环节。睿励科学作为中国最早的一批量检测设备公司，吸引了来自于国内外的顶尖人才，坚持技术创新，聚焦光学技术，我们相信睿励科学将继续保持技术和产品领先，帮助先进制程实现国产替代的突破和发展。
招商致远表示，半导体量检测设备面临巨大的市场空间和国产替代机遇，也具有很高的壁垒。招商致远看好半导体量检测赛道，期待睿励科学凭借优秀的团队和多年的技术积累和量产经验，成为该细分赛道的领导者。
