投资界（ID：pedaily2012）12月5日消息，南京埃米仪器科技有限公司（下简称：埃米仪器）完成数千万元Pre-A轮融资，博将资本领投。本轮融资将用于进一步提升先进半导体制程用的高精密量测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。
埃米仪器成立于2022年，公司成立以来一直引领国内高精密 3D 量测设备的国产化，攻克核心技术。产品聚焦于纳米/亚纳米级三维结构的高精密高速量/检测装备。产品主要应用于芯片制程中的微结构量测和缺陷检测，解决相关领域的卡脖子技术。
截止目前，埃米仪器已推出在线工业级原子力显微镜量测设备APEX-X1（全自动机台）、科研级原子力显微镜量测设备APEX-1000 （半自动机台）、高速光学扫描轮廓仪UltraView-1000、UltraView-2000等。未来将持续推出混合量测设备、高通量原子力显微镜等设备。其在线工业级原子力显微镜APEX-X1已完成某芯片头部企业的产品正式交付。
技术方面，埃米仪器通过申请专利构筑技术壁垒：目前公司已得到专利授权20余项，相关专利覆盖原子力显微镜和光学量测设备，涉及光电器件、精密机械、定位系统、电气设计等。
埃米仪器创始人杨见飞博士曾在国际顶尖半导体设备公司负责开发先进封装和量测设备核心算法开发和架构设计，制定设备算法路线图。当前，埃米仪器拥有一支以国家级人才为主的研发核心团队，目前已与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立密切合作关系。
博将资本该项目投资负责人陆元昊表示，量测设备未来将与光刻设备并行发展，发挥至关重要的作用，而原子力显微镜作为精度最高的量测设备，在先进制程中正在成为量检测主力设备。埃米仪器仅成立2年时间便成功研发出国内首台在线工业级原子力显微镜并已实现在某头部芯片客户交付。同时，公司通过推动高通量AFM、混合量测等方式弥补传统AFM机台在量检测速度的限制，将大大拓宽传统原子力显微镜的应用领域。我们坚定看好公司的发展，未来也将在多方面持续支持公司。
