上海微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所现有传感技术、信息功能材料、微系统技术三个国家级重点实验室，有无线传感网与通信、太赫兹固态技术两个中科院重点实验室，并依托上海微系统所成立了中国科学院超导电子学*创新中心。上海微系统所设有传感技术、信息功能材料、太赫兹固态技术、微系统技术、宽带无线、新能源、超导、仿生视觉等八个研究室，在上海、南京、杭州、嘉兴、南通与地方合作共建了六个分支机构，与德国亥姆霍兹联合会于利希研究中心共建了超导与生物电子学联合实验室，与中科院微小卫星创新研究院共建了高可靠器件协同创新设计中心，与中国科技大学共建了超导量子器件与量子信息联合实验室等。