芯碁微装

合肥芯碁微电子装备股份有限公司的主营业务是高端直接成像设备与直写光刻设备的研发、制造、销售及维保服务。公司的主要产品是PCB直接成像设备、高端线路设备、泛半导体直写光刻设备。截至2025年末，公司累计获得知识产权285项，其中发明专利86项，实用新型132项，外观专利13项，软件著作权54项。