苏州高端装备产业专项母基金由江苏省战略性新兴产业母基金（简称省级母基金）与苏州市共同出资设立，规模60亿元。苏州高端装备产业专项母基金主要围绕江苏省“1650”产业体系、“51010”战略性新兴产业集群、《打造具有全球影响力的产业科技创新中心行动方案》明确的13个新兴产业和苏州市“1030”产业体系中涉及高端装备的领域开展投资，坚持“投早、投小、投科技”，推动产业链强链延链补链。