全国首支集成电路装备零部件基金
本次签约成立的集成电路装备零部件基金是全国第一支以集成电路装备零部件成果转化项目和早期项目为投资标的的基金,由产投资本和集电院、硬科院共同出资,由广州产投私募担任管理人。
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